超高真空系統(tǒng)的全壓力側(cè)童除了最早采用的B-A型超高真空規(guī)外，又發(fā)展了許多極高真空規(guī)，如冷陰極磁控規(guī)、抑制規(guī)和彎注規(guī)等。但對許多研究工作來說，僅靠全壓力數(shù)據(jù)是不夠的。例如真空系統(tǒng)中的吸附、凝結(jié)、脫附過程等，它涉及到容器表面和系統(tǒng)內(nèi)部物質(zhì)和殘余氣體分子的相互作用。這時獲得系統(tǒng)內(nèi)氣體組分和分壓力的數(shù)據(jù)比全壓力數(shù)據(jù)更能說明問題。真空條件下的氣體分析和分壓力測量通常是由動態(tài)質(zhì)譜計完成的。被輸送介質(zhì)中，若含有固體顆粒，泵入口要加過濾網(wǎng)：如含有鐵磁質(zhì)微粒，需加磁性過濾器。水環(huán)式真空泵在使用中環(huán)境溫度應(yīng)小于40℃，電機溫升不得超過75℃。磁力泵正常運行1000小時后，應(yīng)拆檢軸承和端面動環(huán)的磨損情況，并更換不宜再用的易損件對于輸送液為易沉淀結(jié)晶的介質(zhì)，使用后應(yīng)及時清洗，排凈泵內(nèi)積液。真空泵必須經(jīng)常保持清潔，真空泵上不得放置其他物件，不得堵塞真空泵四周通道，以利維修和操作;經(jīng)常注意三角皮帶的松緊，加以調(diào)整;經(jīng)常注意各管道接頭處是否漏氣，以及箱體內(nèi)預(yù)真空有否下降，否則要及時維修;經(jīng)常注意冷卻水是否暢通;每次開車要斷續(xù)啟動4-6次，每次2s以內(nèi)，以克服啟動時較大轉(zhuǎn)矩。

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