大家都知道一臺真空機組是由一個或若干個主抽泵也就是羅茨真空泵和一個前級泵(可以為水環(huán)式真空泵也可以是旋片式真空泵等)組成。那么他們
之間有什么聯(lián)系呢。
機組的性能與羅茨泵的性能密切相關(guān),而羅茨泵的性能又隨前級泵的不同而有所不同。
1)由于羅茨泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與殼體之間存在著間隙,因此有返流存在,而這種返流受進口壓力和出口壓力的影響,即使是同一臺羅茨泵,使用不同的前級泵時,其抽氣速率也會有所不同。
羅茨泵的抽氣速率可由下式確定:
δ=δ0(P2/P1/K)
式中:δ0-設(shè)計的抽氣速率;
P1-進口壓力;
P2-出口壓力;
K-固有常數(shù),由該泵轉(zhuǎn)子的形狀、間隙量、轉(zhuǎn)子圓周速度和出口壓力來確定。
由上式可知,抽氣量受到出口壓力與進口壓力之比的影響,亦即若增加前級泵的抽氣速率,那么羅茨泵的抽氣速率也會增大。
(2)極限壓力由泵的抽氣速率,各間隙的返流量,泵體泄漏量及高真空側(cè)的放氣量所決定。即:
P0=(Q1+Q2+Q3)/δ
式中:P0-極限壓力;
δ-抽氣速率;
Q1-返流量;
Q2-泄漏量;
Q3-放氣量。
在這些參數(shù)中,Q1受排氣壓力即前級泵的極限壓力的影響很大,在用水環(huán)泵作前級泵時,羅茨泵的極限壓力隨水環(huán)的飽和蒸汽壓的不同而不同。
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