自1909年蓋德(W．Gaede)發(fā)明旋片泵并取得德國專利，1936年又發(fā)明氣鎮(zhèn)泵，1941年取得專利以來，旋片真空泵得到廣泛應(yīng)用和不斷完善。60年代末，國際上出現(xiàn)了提高轉(zhuǎn)速，直聯(lián)的小型化趨勢，70年代初出現(xiàn)了直聯(lián)系列產(chǎn)品，到80年代初，又推出了改進的系列產(chǎn)品，有多種可供用戶選配的附件，可以保護泵，或保護環(huán)境，泵本身結(jié)構(gòu)也有改進而使可靠性提高。
在泵的結(jié)構(gòu)方面，為了能在停泵時防止返油，有的設(shè)有能自動切斷油路的止回閥，有的設(shè)有進氣通道截止閥，有的為了能在泵開氣鎮(zhèn)運轉(zhuǎn)突然停電時自動切斷氣路來保持泵口處于真空狀態(tài)而設(shè)有油泵和控制結(jié)構(gòu)。在附件方面，有消霧器、氣味過濾器、阻擋碎玻璃等雜物用的人口過濾器、灰塵過濾器、蒸汽凝結(jié)阱、化學(xué)阱，有控制泵溫以提高水蒸氣抽除率和保護泵的溫控水量調(diào)節(jié)閥。到了80年代末，90年代初，又推出了油過濾器、能監(jiān)視油溫、油壓、油質(zhì)等的電子顯示器，甚至可以與計算機聯(lián)結(jié)，進行自動控制，采用強制潤滑和風(fēng)冷，使泵的連續(xù)工作入口壓力達10kPa，甚至更高，同一臺泵的適用范圍因而更大。
雙級旋片真空泵，可以廣泛用于冰箱、空調(diào)機、燈泡、日光燈、瓶膽生產(chǎn)和電子、冶金、醫(yī)藥、化工、濾油機、印刷機械、包裝機等工業(yè)，可作為擴散泵、羅茨泵、分子泵等的前級泵，供電子儀器、醫(yī)療儀器等配套和實驗研究應(yīng)用。由于直聯(lián)泵沒有皮帶摩擦的粉塵的污染，體積小、重量輕、材料節(jié)約、功能日趨完善，更被廣泛推廣應(yīng)用。
噪聲成因和降低措施
旋片真空泵的噪聲，通常指泵在溫度穩(wěn)定時，在極限真空下測得的噪聲級。它包括泵本身的噪聲和電機噪聲對用戶來說，還關(guān)心泵溫未穩(wěn)定時的起動階段的噪聲和不同入口壓強下運轉(zhuǎn)的噪聲，還有開氣鎮(zhèn)工作時的噪聲。因此。要考慮多種影響因素。
就發(fā)聲的部位來分，泵的噪聲有下列幾個可能方面：
(1)旋片對缸體的撞擊，泵殘余容積和排氣死隙中的壓力油的發(fā)聲；
(2)排氣閥片對閥座和支持件的撞擊；
(3)箱體內(nèi)的回聲和氣泡破裂聲；
(4)軸承噪聲；
(5)大量氣、油沖擊擋油板等引起的噪聲；
(6)其他。如傳動引起的噪聲，風(fēng)冷泵的風(fēng)扇噪聲等。
(7)電機噪聲，這是至關(guān)重要的因素。
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